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1. 油脂：在多晶硅生產(chǎn)過程中，油分子對多晶硅的危害十分嚴(yán)重。實際證明，整個工藝系統(tǒng)幾ppm的油含量就可能造成多晶硅反應(yīng)速度減慢，產(chǎn)量降低，甚至硅反應(yīng)停止。因此，多晶硅設(shè)備的脫脂工藝尤為重要。
2. 水分：水中含有大量的氯離子，氯離子對多晶硅的反應(yīng)十分敏感。設(shè)備及系統(tǒng)干燥工藝很關(guān)鍵。
3. 氯離子殘留：水和其他溶液在設(shè)備表面殘留的氯離子對多晶硅影響十分大。因此，在清洗后對設(shè)備進行純水沖洗工藝十分重要。
4. 氧化物、灰塵其他雜質(zhì)：其他污垢的存在，對多晶硅的生產(chǎn)影響也很大。因此，在設(shè)備清洗過程中，采用酸洗工藝對其他污垢進行清洗十分必要。詳細技術(shù)訪問科林公司網(wǎng)站：www.kelinsonic.com